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[会议论文] 作者:王琪琨;王雪冬;吴琪;朱长纯;, 来源:第八届中国纳米科技西安研讨会 年份:2009
以乙醇和氢气为气源,利用微波等离子体化学气相沉积(CVD)法,在微波功率为700W,反应室气压为7KPa,基片温度为600℃时,在Si基片上制备了形态与质量较好的金刚石薄膜。生长的金刚石薄......
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