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[期刊论文] 作者:纠智先,李强,, 来源:武汉工业学院学报 年份:2006
介绍了脉冲激光沉积(PLD)制备薄膜的原理,讨论了射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点,通过分析比较证实了射频辅助脉冲激光沉积比无射频辅助脉冲激光沉积具有更突出的优点。......
[期刊论文] 作者:王朝勇,姚宁,张兵临,纠智先,邓记才,袁泽明,, 来源:微纳电子技术 年份:2006
对AlwO3陶瓷衬底进行粒度为W20的金刚砂机械抛光,采用磁控溅射方法镀过渡层Mo,对其表面进行Nd:YAG激光刻蚀处理。最后在微波等离子体增强化学汽相沉积(MPCVD)反应腔中在一定条件下......
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