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[期刊论文] 作者：胡鸿胜,吴广峰,朱文坚,,
来源：现代制造工程 年份：2007
简要介绍微机电系统（MEMS）的基本概念、特征及应用,重点阐述微机电系统应用于生物医学领域的几个方面：细胞操作、介入治疗、生物芯片、基因分析和遗传诊断。同时,对微机电系统在......
[期刊论文] 作者：吴广峰,胡鸿胜,朱文坚,,
来源：机电工程技术 年份：2007
本文主要阐述了LIGA技术的工艺过程,包括X射线深层光刻、微电铸和微复制工艺。对LIGA重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了在LIGA技术基础上发展起来的准LIGA工艺技术...
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