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[会议论文] 作者：刘丽,张彤,范会涛,漆奇,王蕊,
来源：2007两岸三地博士生NBIC学术论坛 年份：2007
设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计,并利用MEMS技术制作了传感器样品.实验测得该传感器对于50ppm浓度CO气体的灵敏度为8.6(R0/R),功耗为82mW,响应时间约5s,恢复时间约22s,该传感器的灵敏度是同种敏......
[会议论文] 作者：刘丽[1]张彤[2]范会涛[2]漆奇[2]王蕊[2],
来源：2007两岸三地博士生NBIC学术论坛 年份：2007
设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计,并利用MEMS技术制作了传感器样品.实验测得该传感器对于50ppm浓度CO气...
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