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[期刊论文] 作者：蔡志海,谭俊,唐云,张平,,
来源：装甲兵工程学院学报 年份：2003
为选出合适的辅助离子源进行沉积制备c-BN薄膜,通过对高能和低能辅助镀膜离子源的重要性能进行比较研究之后,在单晶Si基体进行应用制备立方氮化硼薄膜,用红外光谱(FTIR)及光...
[期刊论文] 作者：蔡志海,唐云,谭俊,张平,
来源：装甲兵工程学院学报 年份：2003
为选出合适的辅助离子源进行沉积制备c-BN薄膜,通过对高能和低能辅助镀膜离子源的重要性能进行比较研究之后,在单晶Si基体进行应用制备立方氮化硼薄膜,用红外光谱(FTIR)及光...
[期刊论文] 作者：谭俊,张平,蔡志海,王晓晴,唐云,
来源：核技术 年份：2003
运用离子束辅助沉积(IBAD)法在硅片上制备了立方氮化硼(c-BN)薄膜, 研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中c-BN含量的影响.用红外光谱(FTIR)及X射线光电子...
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