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[期刊论文] 作者：殷桂琴,袁强华,,
来源：材料导报 年份：2010
详细介绍了目前采用旋转涂覆（Spin-on deposition）法制备硅基多孔低量薄膜材料（MSQ及HSO）的方法及技术，其次介绍了用FTIR对低介电MSO及HSQ薄膜的结构的分析，最后指出了等离子体处理......
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