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[期刊论文] 作者：石婷婷, 谈恩民, 张志钢, 张霖,,
来源：仪器仪表用户 年份：2019
针对光刻机掩模台控制系统中存在影响控制精度的机械模态,提出了一种djerk前馈控制方法。该方法在加速度前馈基础上引入一种新的前馈。该算法利用四阶点对点运动轨迹作为参考...
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