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[期刊论文] 作者：谢华飞, 卢马才, 刘念, 陈书志, 张盛东, 李佳育,,
来源：北京大学学报(自然科学版) 年份：2019
在G4.5实验线上,采用射频磁控溅射法,通过优化成膜时的温度、功率、气体流量比、退火温度和膜层厚度等参数,以XRD,HR-TEM,NBED和EDS进行表征,研究制备结晶IGZO的工艺参数及其...
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