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[期刊论文] 作者：李珂,于世洁,尤政,赵嘉昊,,
来源：传感器与微系统 年份：2008
综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理,包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法。对各...
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