搜索筛选:
搜索耗时0.7747秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：肖娜,杜菲菲,邢韵,
来源：材料与冶金学报 年份：2015
在不同沉积时间和基板温度下，采用反应磁控溅射的方法在~6ABV基板上沉积TiN薄膜，溅射过程中固定溅射总压、溅射功率、氮氩流量比等沉积条件．利用XRD、SEM分别研究了薄膜的微观结......
相关搜索：
