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[期刊论文] 作者：孙静,康琳,刘希,赵少奇,吉争鸣,吴培亨,郝西萍,,
来源：低温物理学报 年份：2006
在制备所有的NbN超导隧道结的过程中，为了得到良好的隧道结，刻蚀是很关键的一步，我们对反应离子刻蚀（砌E）和离子刻蚀两种不同的方法进行了研究比较．通过对多层结构用三种不同的方法......
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