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[期刊论文] 作者:陈信琦,季安, 来源:仪表技术与传感器 年份:1999
根据多年研制硅压阻传感器的经验,定性地归纳和探讨硅压阻传感器稳定性的主要影响因素,并提出相应的预防和解决措施。...
[会议论文] 作者:乔文华;陈信琦;, 来源:第五届全国敏感元件与传感器学术会议 年份:1997
该文提出了一种制造压力传感器的新方法,主要采用硅硅键和(SDB)技术、腐蚀技术。该方法与传统工艺方法相比省去了机械加工硅杯、与微机械加工腐蚀硅杯相比减少了腐蚀量,且可以使用各......
[会议论文] 作者:上官锋,陈信琦,张卫, 来源:第二届全国敏感元件传感器学术会议 年份:1991
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