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[会议论文] 作者:张治国, 陈信琦, 李颖, 唐慧,, 来源: 年份:2004
研制了一种电容式硅加速度传感器。敏感器件采用先进的微机械加工工艺,有效地提高了加工精度, 降低成本,减小体积和重量。给出了该器件的结构和工艺设计,给出了中心极板和固...
[期刊论文] 作者:唐慧, 孙海玮, 刘宏伟, 郑东明, 张治国, 陈信琦, 郑, 来源:仪表技术与传感器 年份:2004
传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式.大大提高了仪表的测量精度...
[期刊论文] 作者:唐慧,孙海玮,刘宏伟,郑东明,张治国,陈信琦,郑永辉, 来源:仪表技术与传感器 年份:2004
传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式。大大提高了仪表的测量精度,达到0 1%和0 075%。增加了传感器输出的信息量,实现了传感器的智能化,这也是国际传感......
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