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[期刊论文] 作者：苏志伟,陈庆川,
来源：核工业西南物理研究院年报 年份：2004
离子束技术已广泛应用于电子、材料、光学、医学和生物等多种领域，并取得了可观的技术效果与经济效益，尤其是在光学领域中采用此项技术可制造大刻划面积的全息离子刻蚀光栅，对提......
[会议论文] 作者：陈庆川,许泽金,曾旭初,朱剑豪,
来源：2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议 年份：2004
SOI(绝缘层上的硅)技术被国际公认为"二十一世纪的微电子技术"本文主要介绍了大面积均匀微波等离子体源的研制及其在SOI半导体材料制备工艺中的应用....
[会议论文] 作者：陈庆川,曾旭初,许泽金,朱剑豪,
来源：2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议 年份：2004
SOI(绝缘层上的硅)技术被国际公认为"二十一世纪的微电子技术"本文主要介绍了大面积均匀微波等离子体源的研制及其在SOI半导体材料制备工艺中的应用....
[会议论文] 作者：陈庆川,王珂,许择金,刘华英,徐丽云,
来源：2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议 年份：2004
本文主要介绍了采用微波ECR等离子体增强沉积技术与磁过滤式真空阴极电弧离子镀相结合的方法,制备热障梯度涂层,实现了金属基体到陶瓷表面层的连续过度....
[期刊论文] 作者：李民久, 熊涛, 姜亚南, 贺岩斌, 陈庆川,,
来源：真空 年份：2004
真空管内部的细小金属毛刺去除工艺中采用直流高压存在毛刺去除不净、较大毛刺剩余、影响产品耐压和频率测试等问题。为克服直流高压去毛刺的工艺缺点,采用低重复频率的高压...
[期刊论文] 作者：聂军伟, 陈庆川, 黄琪, 冯春堂, 赵哲, 耿少飞,,
来源：真空 年份：2004
为了研究平面盘香形射频离子源等离子体放电特性,对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布。...
[期刊论文] 作者：赵青,耿漫,童洪辉,陈庆川,霍岩峰,孙爱萍,穆莉兰,郑永真,,
来源：核聚变与等离子体物理 年份：2004
研制了快速、准确、简单地测定PSII靶温度的系统,提出了用双元检测法动态测量PSII靶温度的方法.实验表明,双元检测法测量温度准确、可靠,且测温系统成本低、稳定性好....
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