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[期刊论文] 作者：Skorupa,M. Helm,,
来源：材料科学与工程学报 年份：2004
本文利用Er和硅离子共注入热氧化SiO2薄膜的方法制备出Er离子掺杂的含纳米硅微晶的SiO2发光薄膜,在此基础上制备出ITO/SiON/Si-rich SiO2:Er/Si MOS结构电致发光器件,比较研...
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