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[期刊论文] 作者:R.A.Powell,孙喜龙,,
来源:低温与特气 年份:1987
如果碳氢化合物的氢原子部分或全部被卤素(氟、氯、溴、碘)取代,就称之为卤代烃。现在,这类碳氢化合物在半导体元件等离子蚀刻工艺中得到了广泛的应用。但是,在等离子工艺产...
[期刊论文] 作者:R.A.Powell,孙喜龙,李怀曙,
来源:低温与特气 年份:1987
如果碳氢化合物的氢原子部分或全部被卤素(氟、氯、溴、碘)取代,就称之为卤代烃。现在,这类碳氢化合物在半导体元件等离子蚀刻工艺中得到了广泛的应用。但是,在等离子工艺产生之......
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