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[期刊论文] 作者：ZHANG Xin-yue,姚宁,WANG Ying-jia,
来源：人工晶体学报 年份：2004
采用微波等离子体化学气相沉积法在经研磨处理后的Si(111)面上制备出了纳米非晶碳薄膜.为改善薄膜的场发射性能,在研磨好的Si基底上运用直流磁控溅射法沉积了一层金属过渡层....
[期刊论文] 作者：ZHAO Yong-Mei,ZHANG Bing-Lin,YAO Ning,LU Zhan-Ling,ZHANG Xin-Yue,
来源：中国物理快报（英文版） 年份：2004
Nano-graphite films have been deposited on n-Si substrates by microwave plasma chemical vapour deposition. The surface morphology and microstructure of the film...
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