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[期刊论文] 作者:何孟珂,周浩敏,郝欣,, 来源:现代电子技术 年份:2008
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理,在成功研制出模拟闭环系统的......
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