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[期刊论文] 作者：蒋中东,张万里,彭斌,邓森洋,蒋洪川,,
来源：电子元件与材料 年份：2014
基于功率分配思想和简化实频法设计了频率为DC~20 GHz,承载功率为40 W的阵列型微波薄膜匹配负载器件;采用丝网印刷工艺和射频磁控溅射工艺制备了设计的Ta N薄膜匹配负载器件...
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