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[期刊论文] 作者：刘红梅,赵全亮,段中夏,邱成军,曹茂盛,,
来源：哈尔滨工业大学学报 年份：2007
研究了一种用于制备硅基压电悬臂梁的PZT厚膜溶胶-凝胶工艺.该工艺通过采用交替旋涂法,将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,再和澄清PZT溶胶交替涂覆在Au/Cr/SiO2/Si的硅基悬...
[期刊论文] 作者：邱成军,曲伟,刘红梅,赵全亮,卜丹,曹茂盛,
来源：材料科学与工程学报 年份：2007
采用溶胶-凝胶法（sol-gel）制备技术制作了Pb（Zr，Ti）O3（PZT）压电薄膜，并以PZT薄膜为驱动制作了微泵。采用了v型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应。针对微泵的关键结构——复合驱动膜，探......
[期刊论文] 作者：邱成军,曲伟,刘红梅,赵全亮,卜丹,曹茂盛,,
来源：材料科学与工程学报 年份：2007
采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备技术制作了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)压电薄膜,并以PZT薄膜为驱动制作了微泵。采用了V型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应。针对微泵的关键结构——复合...
[期刊论文] 作者：邱成军,刘红梅,张辉军,赵全亮,孟丽娜,曹茂盛,,
来源：材料工程 年份：2007
采用溶胶-凝胶法（Sol-gel）制备了PZT压电薄膜，利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜，探索了Si／SiO2／Ti／Au／PZT／Cr／Au多层驱动膜结构制......
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