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[期刊论文] 作者：钱嵩松,陈和峰,赵芸,
来源：第八届全国毫米波亚毫米波学术会议 年份：2011
基于MEMS技术完成了一个360GHz肖特基混频器的设计与加工制作。由于亚毫米波电路尺寸微小，通常的蚀刻方法不能满足加工精度要求，而MEMS工艺通过溅射、光刻、电镀等流程完全可达到亚毫米波电路的精度要求。由此得到的混频电路尺寸非常紧凑，可以满足小型化应用的需要......
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