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[学位论文] 作者：丁铮,,
来源：长春理工大学 年份：2020
Al掺杂ZnO(AZO)薄膜因其原材料丰富无毒、制造成本低和光电性能优异等特点,逐步取代了铟锡氧化物(ITO)薄膜,成为了目前研究最广泛的半导体氧化物薄膜。由原子层沉积法(ALD)制备的ZnO/Al_2O_3纳米叠层薄膜因其宽范围的电阻率能够满足微通道板打拿极导电层对电阻......
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