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[学位论文] 作者:朱国明, 来源:东北大学 年份:2010
采用磁控溅射法沉积金属薄膜,退火后采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)和射频磁控溅射两种镀膜工艺在其上沉积类金刚石碳膜(DLC),研究其疏水性能。首先分析总结...
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