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[学位论文] 作者：莫德云,
来源： 年份：2013
随着计算机技术和微电子技术的发展,计量光栅作为一种高精度的检测元件,已占中高档测量系统的80%以上。然而由于硬件条件的限制、建立超精密制造环境的技术不成熟、条纹信号质量不高等原因,我国高线数大长度光栅刻制技术的研究仍主要体现在理论研究和关键技术的......
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