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[会议论文] 作者：代明江,林松盛,侯惠君,李洪武,朱霞高,林凯生,
来源：07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会 年份：2007
材料的磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一，近年来，由离子参与和等离子体增强的各种气相沉积技术为解决这一问题提供了有效的途径。物理气相沉积(PVD)是制......
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