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[会议论文] 作者：张万昌, 何高魁, 黄小健, 乌如恭桑, 孙亮,,
来源： 年份：2009
叙述了用平面工艺技术制备Si-PIN低能x射线探测器的工艺方法。为了减小探测器的漏电流，采用了表面钝化和保护环技术。文章给出了厚度500μm，灵敏面积分别为5mm^2、10mm^2的不同...
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