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[会议论文] 作者：林爱民,杨根庆,
来源：中国电子学会'98敏感技术学术年会 年份：1998
研究了双框架微机械陀螺的厚度检测、控制技术，在此基础上采用该实验室自对准的准LIGA工艺制备出陀螺结构，其活动区面积为1.0 x1.0mm，框架厚度4μm。经加电测试，己观测到低频驱动......
[会议论文] 作者：陈天翔,林爱民,
来源：1988年全国流体力学多相流会议 年份：1988
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