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[会议论文] 作者：邱小莎,曾岳阳,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
主要介绍电子束曝光机中，对束斑进行数字化自动测量的基本原理，介绍束斑自动测量译标记的要求和设计，以及为实现束斑自动测量对数字硬件电路所作的特别设计。...
[会议论文] 作者：邱小莎,曾岳阳,刘东明,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
电定位技术是电子束曝光机的一项重要技术。它可对电子束扫描场畸变进行修正，从而使电子束曝光的图形能够进行场与场之间的精确拼接；它还能对曝光过程中电子束的零漂进行修正，从......
[会议论文] 作者：刘东明,邱小莎,曾岳阳,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
介绍了ＤＢ７－亚微米电子束曝光机上电定位检测与修正程序的目的和原理，并叙述了该程序的设计思想和具体实现。...
[会议论文] 作者：郭忠君,刘求益,邱小莎,周建伊,刘冬明,
来源：第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份：2003
电子束曝光是迄今为止分辨率最高的微细加工手段之一,是生产及研制微电子器件及特种微型器件的关键性技术.文章介绍了我所最新研制的M24100-1/UM型电子束曝光机的主要技术指标、原理、结构及实验结果,并扼要介绍了影响电子束图形精度变化的主要原因及具体解决措......
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