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在喷动流化床中用SiHCl2制聚颗粒硅的动力学研究
在一直径为80mm的喷动流化床反应装置系统中进行了三氯氢硅的氢还原反应实验。研究了颗粒硅的生长速率与颗粒硅的初始粒径和三氯氢硅分......
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三氯氢硅
氢还原反应
喷动流化床
颗粒硅
多晶硅
trichlorosilane
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