万向惯性开关相关论文
随着微机电系统(MEMS)技术的不断发展,微传感器、微执行器已经被应用于一些工业领域。MEMS惯性开关作为振动传感器和微加速度计,在......
为提高微机电系统(MEMS)万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机......
MEMS已经被广泛的用到了各个领域,越来越受到人们的重视。利用MEMS技术加工出来器件体积小、精度高、重量轻、寿命长、成本低。人们......
本文基于MEMS技术设计了一种可识别载荷空间方位的万向惯性开关,具有体积小、抗过载能力强、响应时间短、闭合时间长、轴向抗干扰......