三维微加工相关论文
半导体材料是微系统中最为重要的材料。其中Si的应用最为广泛，因其优良的电子和机械性能，Si的微加工已经成为微系统加工技术的核心技......
本文介绍了Wyko表面轮廓仪两种测量模式的原理及特点。同时应用该仪器测量了一批双光子三维微加工与其它MEMS微细加工制作的微器件......
微纳米科学技术作为二十一世纪的关键高新技术之一，将导致人类认识和改造世界能力的重大突破。而具有强烈交叉学科色彩的微系统（或微......
信息技术的飞速发展需要超高速的信息处理和巨大的存储容量，目前，以半导体和无机材料为基础的电子技术几乎已经达到了它们的极限，越来......
DEM技术 (Deepetching ,ElectroformingandMicroreplication )是继硅微加工技术和LIGA技术发展起来的一种全新的非硅三维微加工技......
运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属铜(Cu)表面实现了三维微图形加工，取得成功的关键因素在于寻找到能对Cu进行有效CELT加工的化学刻......
研究了镁合金的约束刻蚀微加工方法.通过对电解过程中电极表面氢离子浓度变化以及刻蚀体系对镁合金的腐蚀速率的测量与分析,对一些......
高能准分子激光器对于激光微加工来说具有极佳的灵活性，因为实际上每种加工的材料都应该具有准确高分辨率的材料烧蚀特性，并且不需要......
ＤＥＭ技术是继硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术发展起来的一种全新的非硅三维微加工技术。该技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的部分工艺，可对非硅材料......
采用倾斜旋转光刻的方法开展圆锥形异平面微针制备技术研究.通过改进实验室现有设备,以SU8光刻胶结构为模具,通过聚合物材料间的图......
微机电系统（MEMS）和微光机电系统（MOEMS）是当今科学技术的热点研究领域之一。微机电系统,泛指体积微小、集微型机械、微型传感器、微型......
本文介绍了纳米压印光刻技术的原理并进行了相关的实验研究,目的在于研究采用纳米压印光刻技术制备三维微结构的工艺,以促进此项技......
微／纳米科学技术作为二十一世纪的关键高新技术之一，将导致人类认识和改造世界能力的重大突破。而具有强烈交叉学科色彩的微系统(或......
飞秒激光具有极短的脉冲宽度，这使它拥有极高的峰值功率，可以实现对任何材料的非热熔性加工。通过控制激光脉冲聚焦点在材料上的移动......
