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三维表面形貌扫描技术相关论文
基于一维Dammann光栅的三维表面形貌扫描技术的研究
微光学是研究特征尺度为微米级的光学元件和基于微光学元件的集成光学系统的现代光学分支。作为微光学的重要分支,二元光学是基于......
学位
Dammann光栅
三维表面形貌扫描技术
工作原理
三角法
信息调制
集成光学系统
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