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二氧化硅膜过腐蚀法相关论文
扩磷多晶硅的反应离子刻蚀
提出了一种利用普通光刻机获得亚微米、深亚微米刻蚀掩蔽图形的方法:二氧化硅膜过腐蚀法。利用该方法形成的掩蔽图形实现了扩磷多晶......
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扩磷多晶硅
二氧化硅膜过腐蚀法
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