论文部分内容阅读
提出了一种利用普通光刻机获得亚微米、深亚微米刻蚀掩蔽图形的方法：二氧化硅膜过腐蚀法。利用该方法形成的掩蔽图形实现了扩磷多晶硅的高度各向异性反应离子刻蚀，并对其刻蚀机理进行了分析。
扩磷多晶硅的反应离子刻蚀
【摘 要】
：
提出了一种利用普通光刻机获得亚微米、深亚微米刻蚀掩蔽图形的方法：二氧化硅膜过腐蚀法。利用该方法形成的掩蔽图形实现了扩磷多晶硅的高度各向异性反应离子刻蚀，并对其刻蚀机
【机 构】
：
清华大学微电子学研究所
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
1997年05期
其他文献
食品安全是关系公众生命健康安全的重大民生问题。选取食品行业的龙头企业双汇为研究对象,运用六大要素鱼刺模型对双汇企业内部角度的品牌建设情况进行了诊断。针对肉制品企
本文介绍了多场限环平面结的主、环结及各环结间穿通击穿的模型,推导出了穿通击穿电压的计算公式。利用等位线概念,得到了各结电压与穿通电压的关系式。使用所得解析式求出的
目的 :寻找最佳利福平滴眼液的处方及制备工艺。方法 :选择几种附加剂不同的处方 ,配制成一系列的滴眼液进行实验观察 ,通过含量、pH值测定和留样观察等 ,筛选出一个最佳的处
<正>在艾伦·索金那间豪华、灯光昏暗的办公室里,摆放着凭编剧《社交网络》揽下的奥斯卡小金人,以及凭借当年风靡一时的《白宫风云》(The West Wing,1999)赢得的六座艾美奖奖
1999年,云南省评“民族民间美术艺人”,保山地区评选了10个,其中腾冲占了5个;腾冲的5个名额中,固东镇占了3个:刘定三、刘永周、郑家朝。固东镇刘家寨的刘定三和刘永周是一对
期刊
随着经济的发展和人们对装修质量要求的提高,幕墙如今已经被广泛使用。文章通过分析幕墙装修中的施工特点,从而指导幕墙装修的质量把控工作,减少施工过程中出现的问题,进而达
大规模网络开放平台(Massive Open Online Course, MOOC)正在对高等教育产生巨大的影响。从2012年开始,出现了以Coursera、Udacity、Edx为首的三大MOOC平台,面向全球提供优质
射频识别(RFID)是一种新的自动识别技术,它通过射频方式加快了对目标物体信息的获取与处理。介绍了RFID系统的基本组成和工作原理,重点对芯片中集成的天线方面的技术进展进行
针对乐凯胶卷全面停止彩色胶卷生产的这一现象,文章首先从乐凯胶卷的发展历史,产品生命周期、企业营销策略以及行业进入和退出等角度,分析了乐凯集团全面停产彩色胶卷的深层
芍药甘草汤出自《伤寒论》,本为治疗误汗误下后之变证,而脚挛急是变证中的一个主要症状。这一症状也是急性踝关节扭伤的主要临床表现。故此笔者根据二者的这一联系,对运用经