二维亚波长结构相关论文
变换光学(Transformation Optics)是近年来引起人们广泛关注的研究领域。根据变换光学原理，电磁波的传播在空间弯曲的情形下仍然遵......
为了在Ge衬底上制备出锥形二维亚波长结构,文章研究了紫外接触式光刻工艺和反应离子刻蚀工艺对光刻及刻蚀图形的影响。结果发现：由......
采用接触式紫外光刻和反应离子刻蚀工艺在ZnS衬底上制备二维亚波长结构抗反射表面。在优化的光刻工艺下,以CH4、H2及Ar的混合气体......
