研究了Ｔａ的阳极氧化反应动力学，用自制装置有效地控制用于非晶硅薄膜晶体管（ａ－ＳｉＴＦＴ）的复合栅绝缘层Ｔａ２Ｏ５厚度，膜质均、性能优良，使用复合栅绝缘层Ａ－ＳｉＴＦＴ的开......