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a-Si TFT复合栅绝缘层用阳极氧化Ta_2O_5的研究
研究了Ta的阳极氧化反应动力学,用自制装置有效地控制用于非晶硅薄膜晶体管(a-SiTFT)的复合栅绝缘层Ta2O5厚度,膜质均、性能优良,使用复合栅绝缘层A-SiTFT的开......
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阳极氧化
五氧化二钛
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