提出了一种插入损耗较低、介质薄膜生长在桥膜上的新结构微波MEMS开关.该开关桥膜由介质/金属/硅三种薄膜构成,并采用键合和自停止......

提出了一种插入损耗较低、介质薄膜生长在桥膜上的新结构微波MEMS开关.该开关桥膜由介质/金属/硅三种薄膜构成,并采用键合和自停止......

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An effective method for determining the refractive index of weak absorption trans-parent thin films was presented, which......

提出了一种插入损耗较低、介质薄膜生长在桥膜上的新结构微波MEMS开关．该开关桥膜由介质／金属／硅三种薄膜构成，并采用键合和自停止腐蚀......

对３５５ｎｍ激光烧蚀沉积Ｔａ２Ｏ５薄膜的过程进行了研究。由时间分辨四极质谱测得烧蚀Ｔａ２Ｏ５产生的正离子有Ｔａ＾＋，Ｏ＾＋，ＴａＯ＾＋和ＴａＯ２＾＋，中性粒子在Ｏ、Ｔａ、ＴａＯ和ＴａＯ２，并测定了它们的飞行时间谱，在......