亚微米图形相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

亚微米图形相关论文

聚硅烷用作紫外亚微米光刻胶

讨论了用醇酸树脂或聚氨脂树脂为平坦层,几种不同的枝状和线状聚硅烷为抗蚀层,在玻璃基片上的XeCl准分子激光光刻效果.由于聚硅烷......

期刊

聚硅烷紫外亚微米光刻胶 O2-RIE处理微细加工激光光刻抗蚀层添加剂亚微米图形 polysilane photoresist O2-RIE

基于亚微米深孔的Si衬底上GaN选择性外延及横向外延

GaN是一种性能优越的第三代宽禁带半导体材料,直接带隙宽度为3.4eV,可以被用于制造高性能光电子器件、高功率电力器件以及高频电子......

学位

GaN Si衬底亚微米图形高深宽比高速率横向外延

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