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讨论了用醇酸树脂或聚氨脂树脂为平坦层,几种不同的枝状和线状聚硅烷为抗蚀层,在玻璃基片上的XeCl准分子激光光刻效果.由于聚硅烷与其它树脂相容性不好,作者将含氯聚硅烷作为添加剂添加到枝状聚硅烷中进行光刻实验,获得最小分辨率为0.5μm的明暗线条等宽图形,对以不同聚硅烷相互作为添加剂,将其配方性能优化进行了有益的尝试.对多种影响图形转移质量的因素进行了一些定性的讨论.