随着铜互连以及low-k电介质在超大规模集成电路中地广泛使用,low-k电介质的机械完整性及其对互连可靠性变得更加重要。影响介电膜......

一、引言 众所周知,在硅片上能否生长“洁净”的介电膜是成功地制作MOS电路的关键,而膜的厚度、组分及均匀性决定了MOS器件的性能......

用溶胶—凝胶法在腐蚀箔表面引入了TiO_2阀金属氧化物,随后在硼酸铵溶液中进行化成处理,获得了高介电常数的Al_2O_3-TiO_2复合介电......

本文讨论关于节点膜（dielectric brane）的一个简单例子，即怎样从里论出发来构造DO-膜（DO-brane）膨胀到D2-球面（D2-sphere）,并分析其在视界......