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介质层TDDB可靠性测试相关论文

TEM样品制备辅助研究介质层可靠性失效机理

研究了TEM样品制备条件对Cu/低k制程ILDTDDB失效样品及含更低介电常数（k=2.7）介质层样品的TEM成像质量的影响,发现在一定的样品制备......

期刊

透射电子显微镜样品制备低介电常数材料介质层TDDB可靠性测试 TEM sample preparation low- k dielectrics

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