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包含等离子体辅助沉积参数和离子刻蚀作用过程的结构区域相图
文中提出一种扩展的薄膜微观结构的区域相图,可以用其来表征过滤阴极弧以及高功率脉冲磁控溅射镀膜过程中含有大量离子流的动态沉......
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