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低温掺杂外延相关论文
HV/CVD系统Si、SiGe低温掺杂外延
研究了硼烷(H2H6)掺杂锗硅外延和磷烷(PH3)掺杂硅外延的外延速率和掺杂浓度与掺杂气体流量的关系。B浓度与B2H6流量基本上成正比例关系......
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