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大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备
介绍了一种新型的磁控/流体动力学控制的大口径长通道直流电弧等离子体炬,并据此设计建 造了 100千瓦级高功率 DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜沉积系统 ......
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金刚石自支撑膜
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