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栅侧壁隔离层对45 nm NOR闪存栅极干扰的影响
为了研究侧壁隔离层对闪存器件可靠性的影响,分别制备了Si_3N_4和SiO_2-Si_3N_4-SiO_2-Si_3N_4(ONON)复合层作为栅侧壁隔离层的45 ......
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栅极干扰
侧壁隔离层
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复合介质层
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