光化学掩模分离相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

光化学掩模分离相关论文

微结构滤光片的研制

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学位

微结构窄带滤光片光化学掩模分离 PECVD 复形性

微结构窄带滤光片设计及制备工艺研究

为了提升微结构窄带滤光片的光谱透过率,增大微结构单元的制备精度,提出一种新的膜系镀制方法和微结构单元的制备方法。基于法布里......

期刊

微结构窄带滤光片光化学掩模分离 PECVD

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