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光化学掩模分离相关论文
微结构滤光片的研制
多光谱成像技术是目标探测领域的先进技术,目前正向着光谱通道更多、集成度更高、体积更小和质量更轻的方向发展,所以多通道微结构......
学位
微结构
窄带滤光片
光化学掩模分离
PECVD
复形性
微结构窄带滤光片设计及制备工艺研究
为了提升微结构窄带滤光片的光谱透过率,增大微结构单元的制备精度,提出一种新的膜系镀制方法和微结构单元的制备方法。基于法布里......
期刊
微结构
窄带滤光片
光化学掩模分离
PECVD
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