用 Si H4 气体的减压 CVD法 ,在氧化硅以及石英基板上自然形成了高密度的 (～ 10 11cm-2 )纳米尺寸的半球状硅晶粒 (硅量子点 ) ,并......

用ＳｉＨ４气体的减压ＣＶＤ法，在氧化硅以及石英基板上自然形成了高密度的（～１０＾１１ｃｍ＾２）纳米尺寸的半球状硅晶粒（硅量子点），并且对其光学吸收和发光（Ｐｈｏｔｏ－ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ，ＰＬ）特性进行了评价......