光栅蚀深度相关硕士博士期刊学术论文

本文指出光刻胶所记录到的是浮雕型相位光栅，经历了电铸、模压转移到ＰＥＴ薄膜上，在此过程中光栅刻蚀深度的转移是非线性的，即深度浅的方法......