扩展了Ｃｌａｕｓｉｎｇ－Ｎａｗｙｎ方法，阐述了稳态分子流基本方程的普适意义，指出入射率是比真空度更重要的参量。用该方程计算“原位Ｍｉｃｏｒ－ＶＣＭ装置”的可凝挥发物（ＶＣＭ）收集率......